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德国SENTECH激光椭偏仪/光谱椭偏仪/反射膜厚仪

  • 名称:德国SENTECH激光椭偏仪/光谱椭偏仪/反射膜厚仪
  • 分类:仪器/仪表
  • 简介:德国Sentech Instruments GmbH 公司的所有产品,该公司位于德国首都柏林,是一家从事薄膜测量仪器和等离子体设备研发、生产的高科技公司。SENTECH公司生产的各种等离子体刻蚀、沉积设备
  • BTG PCD-04 (Travel)颗粒电荷测定仪
  • 英国SERVOMEX燃烧分析仪/氧气分析仪
  • RIGAKU衍射仪/RIGAKU  X射线衍射仪
  • 美国A+K流量计/A+K平衡流量计
  • 英国BEKA显示仪/指示灯/压力显示器
  • 瑞士ECO PHYSICS分析仪/一氧化氮分析仪
  • 奥地利SCHIEBEL执行机构/角行程执行机构
  • 德国BFI探头/火焰放大器/火焰控制器
  • 意大利EUROTRO测温仪  /红外测温仪
  • 德国UWT重锤式料位计/音叉式料位计

德国SENTECH激光椭偏仪/光谱椭偏仪/反射膜厚仪



发表时间:2014-05-22 17:17 作者:智鸢机电 来源: 浏览:



德国Sentech Instruments GmbH 公司的所有产品,该公司位于德国首都柏林,是一家从事薄膜测量仪器和等离子体设备研发、生产的高科技公司。SENTECH公司生产的各种等离子体刻蚀、沉积设备具有高刻蚀率、低损伤、低温、高均匀度、沉积速度快等特点,广泛地用于半导体、微系统、有机薄膜等领域。
 

SENTECH公司致力于发展薄膜测量技术(光谱椭偏仪、激光椭偏仪、反射膜厚仪)和等离子加工技术(等离子刻蚀、沉积系统,定制解决方案),专业研发、制造、销售相关仪器和设备。
 

激光椭偏仪SE 400advanced

多角度激光椭偏仪 SE400advanced使用632.8nm波长HeNe激光器,对测量薄膜厚度,折射率和吸收系数有非常出色的精度。 SE400advanced能够分析单层膜,多层膜和大块材料(基底)

• 超高精度和稳定性,来源于高稳定激光光源、温度稳定补偿器设置、起偏器跟踪和超低噪声探测器

• 高精度样品校准,使用光学自动对准镜和显微镜

• 快速简易测量,可选择不同的应用模型和入射角度

• 多角度测量,可完全支持复杂应用和精确厚度

• 全面的预设应用,包含微电子、光电、磁存储、生命科学等领域
 

规格:

• 激光波长632.8 nm

• 150 mm (z-tilt) 载物台

• 入射角度可调,步进5º

• 自动对准镜/显微镜,用于样品校准

• Small footprint

• 以太网接口连接到PC

SE 400advanced软件特征:

• 预先定义应用

• 多角度测量

• 广泛的材料数据库

• 拟合状况的图形反馈

• 支持多种语言
 

代表型号:SI500、SI500PPD、SE400advanced、SE500advanced、SE 900-50、SENDURO、SENresearch、Reflectometer RM、Etchlab200、SI100.....

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